氣浮隔振光學(xué)平台：其隔振支撐采用二層氣囊隔離(lí)，高(gāo)阻尼小孔，隔振性能良好,穩定輕松調節，結構穩定可(kě)靠，自(zì)動平衡，自(zì)動充氣，全部氣動執行(xíng)元件，采用知名合資氣動品牌産品，可(kě)選配進口氣動元件。

技術指标：

● 自(zì)動平衡精密隔振光學(xué)平台

● 平面度：0.1mm/1000mmX1000mm

● 平衡方式:空氣彈簧氣墊隔離(lí),3個真空管水平調節閥自(zì)動平衡

● 表面粗糙度:小于0.8微米

● 固有(yǒu)頻率:垂直:1.2～2.0Hz;水平:1.5～2.0Hz

● 水平複位精度:±0.10mm 

● 工作條件:3～7kg/cm2壓縮空氣或氮氣瓶